1。铟合金靶材：铜铟镓硒合金靶材CIGS、铜铟镓合金靶材CIG、铜铟合金靶材CuIn、铟锡合金靶材InSn、铟银合金靶材InAg、铟钛合金靶材InTi、铟镉合金靶材InCd、铟金合金InAu、铟铅锡合金靶材InPbSn、 铟铅镉合金靶材InPbCd、铜锰铟合金靶材CuMnIn、金银铟合金靶材AuAgIn、铜锌锡硫合金靶材CuZnSnS等
2。锗合金靶材：锗碲合金靶材GeTe、锗锑碲合金靶材GeTeSb、锗锑合金靶材GeSb、锗金合金靶材GeAu、锗锰铜合金靶材GeMnCu、硅锗合金靶材SiGe、锗铜合金靶材GeCu、钛锗合金靶材TiGe、锗镓合金靶材GeGa、锗铋合金靶材GeBi等
3。钛合金靶材：钛铝合金靶材TiAl、钛铝钒合金靶材TiAlV、钛镍合金靶材TiNi、钛钼合金靶材TiMo、钛钯合金靶材TiPd、钛铬合金靶材TiCr、钛钒合金靶材TiV、钛铜合金靶材TiCu、钛钼镍合金TiMoNi等。
4。钒合金靶材：钒钛合金VTi、钒铬合金VCr、钒锆合金靶材VZr、钒铬钛合金VCrTi、钒镍合金VNi等。
5。铌合金靶材：铌镍合金靶材NbNi、铌钛合金靶材NbTi、铌锆合金靶材NbZr、铌钨锆合金靶材NbWZr等。
6。钽合金靶材：钽钼合金靶材TaMo、钽钨合金靶材TaW、钽铪合金靶材TaHf、钽锆合金靶材TaZr、钽铌合金靶材TaNb、钽钛合金靶材TaTi、钽铬合金靶材TaCr、钽钌合金靶材TaRu、钽铱合金靶材TaIr等。
7。铼合金靶材：钨铼合金靶材WRe、钼铼合金靶材MoRe、锆铼合金靶材ZrRe、钛铼合金靶材TiRe、铂铼合金靶材PtRe、铱铼合金靶材IrRe、钯铼合金靶材PdRe、镍铼合金靶材NiRe等。
8。铁合金靶材：铁锰合金靶材FeMn、铁钴合金靶材FeCo、铁镍合金靶材FeNi、铁钴硼合金靶材FeCoB、铁钴硼硅合金靶材FeCoBSi等
9。其他合金靶材：铝合金靶材Al、铜合金靶材Cu、锡合金靶材、锌合金靶材、镁合金靶材、钌合金靶材Ru、铂合金靶材Rt、钨合金靶材W、钼合金靶材Mo等。
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