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碲化物靶材：碲化铜靶材CuTe、碲化锌靶材ZnTe、碲化铅靶材PbTe、碲化锡靶材、碲化铟靶材In2Te3、碲化锑靶材Sb2Te3、碲化铋靶材Bi2Te3、碲化锗靶材GeTe2碲化铁靶材FeTe、碲化镉靶材CdTe。
硒化物靶材：硒化铜靶材CuSe、硒化亚铜靶材Cu2Se、硒化锌靶材Zn Se、硒化铅靶材Pb Se、硒化锡靶材SnSe、硒化铟靶材In2 Se 3、硒化锑靶材Sb2 Se 3、硒化铋靶材Bi2 Se 3、硒化锗靶材Ge Se 2、硒化镓靶材Ga2Se3、硒化铁靶材Fe Se、硒化钴靶材CoSe2、硒化镍靶材NiSe2、硒化钛靶材TiSe、硒化铪靶材HfSe、硒化镉靶材CdSe、硒化铬靶材CrSe、硒化钽靶材TaSe。
硫化物靶材：硫化锌靶材ZnS、硫化铜靶材CuS、硫化镉靶材CdS、硫化铟靶材InS、硫化钼靶材MoS2、硫化铁靶材FeS、硫化铅靶材PbS、硫化锡靶材SnS、硫化镍靶材NiS、硫化钽靶材TaS2、硫化铋靶材BiS、硫化锑靶材SbS、硫化锗靶材GeS、硫化铁靶材FeS2。
氮化物靶材：氮化铝靶材AlN、氮化钛靶材TiN、氮化镓靶材GaN、氮化镁靶材MgN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化铜靶材CuN、氮化铌靶材NbN、氮化钽靶材TaN、氮化铬靶材CrN、氮化锆靶材ZrN。氮化钙靶材CaN。
碳化物靶材：碳化硅靶材SiC、碳化硼靶材BC、碳化铁靶材FeC、碳化钛靶材TiC、碳化钽靶材TaC、碳化铬靶材CrC、碳化铪靶材HfC、碳化锆靶材ZrC、碳化钨靶材WC、碳化铌靶材NbC、碳化钒靶材VC、碳化钴靶材CoC。
硼化物靶材：硼化镧靶材LaB6、硼化铈靶材CeB6、硼化铽靶材TbB6、硼化铕靶材EuB6、硼化钐靶材SmB6、硼化铪靶材HfB、硼化钛靶材TiB、硼化铬靶材CrB、硼化钒靶材VB、硼化锆靶材ZrB、硼化铁靶材FeB、硼化钽靶材TaB、硼化铌靶材NbB、硼化镍靶材NiB、硼化钼靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化铝靶材AlB、硼化镁靶材MgB、硼化钡靶材BaB、硼化钨靶材WB、硼化钴靶材CoB、硼化钙靶材CaB、硼化镍靶材NiB。
氟化物靶材：氟化钆靶材GdF、氟化钇靶材YF、氟化镧靶材LaF、氟化镱靶材YbF、氟化铒靶材ErF、氟化钬靶材HoF、氟化铈靶材CeF、氟化铽靶材TbF、氟化铕靶材EuF、氟化镨靶材PrF、氟化钐SmF、氟化撸靶材LuF、氟化镝靶材DyF、氟化钕靶材NdF、氟化钪靶材ScF、氟化镁靶材MgF、氟化钡靶材BaF、氟化纳靶材NaF、氟化铝靶材AlF、氟化钛靶材TiF。
硅化物靶材：硅化铝靶材AlSi、硅化铬靶材CrSi、硅化镍靶材NiSi、硅化钨靶材WSi、硅化铪靶材HfSi、硅化锆靶材ZrSi、硅化铌靶材NbSi、硅化钒靶材VSi、硅化锰靶材MnSi、硅化钼靶材MoSi、硅化镁靶材MgSi、硅化钛靶材TiSi、硅化铁靶材FeSi、硅化钙靶材CaSi。
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